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掃描電鏡分析制樣時(shí)產(chǎn)生的影響因素
更新時(shí)間:2021-11-15   點(diǎn)擊次數(shù):881次
   掃描電鏡是用電子打在樣品上,用電子束成像。這主要是因?yàn)殡娮拥牟ㄩL(zhǎng)小,光的波長(zhǎng)在400到700納米量級(jí),而電子的波長(zhǎng)公式是 lambda=h/(mv),一般用的電壓是80kV 到 300kV,電子的波長(zhǎng)就是在0.01納米左右,和原子的大小接近。更短波長(zhǎng)的好處,是可以觀測(cè)到更小尺寸的東西,否則會(huì)因?yàn)椴ǖ难苌浜透缮鏌o(wú)法分辨。通??吹降纳飿悠?,和高倍昆蟲圖片,是用掃描電鏡拍到的,實(shí)際上這是電子顯微鏡中放大倍數(shù)zui低的,純科普的。這些其實(shí)還可以用光學(xué)顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色,對(duì)于電子來說,它不是光,因此沒有顏色一說。因此樣品成像無(wú)顏色
  掃描電鏡目前*泛的用途是看電子元件,像CPU現(xiàn)在都是25納米制程,這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品,比如骨頭斷面組織之類也會(huì)用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像(外觀)。
  毓秀儀器采用二次電子和背散射電子兩種探測(cè)器。同時(shí)配備4個(gè)可選光闌(30、50、100、200um),通過改變電子束大小可提供高分辨率圖像。
  掃描電鏡分析制樣時(shí)產(chǎn)生的影響因素,具體有下述內(nèi)容:
  1.試樣磨制影響
  在掃描電鏡前有時(shí)會(huì)先對(duì)裂紋樣品進(jìn)行高倍金相檢驗(yàn),因?yàn)榻?jīng)過磨樣,磨制過程當(dāng)中砂輪、砂紙顆粒還有研磨輔料等會(huì)殘留在裂紋內(nèi),不容易被清除。如用超聲波清洗,超聲波的分散作用會(huì)把樣品上的污染物聚集到裂紋處,影響樣品分析,所以要區(qū)分開殘留物還有夾雜物,正確的分析缺陷產(chǎn)生原因。對(duì)于存在裂紋的樣品,假如樣品的尺寸允許,制成斷口樣進(jìn)行電鏡分析。
  2.生產(chǎn)工藝影響
  對(duì)掃描電鏡檢測(cè),機(jī)械零部件在生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)都有不確定因素影響。首先要了解生產(chǎn)工藝過程,比方說拉拔過程的磷皂化膜、鐓鍛、機(jī)加工工序等使用的冷卻液,熱處理淬火冷卻介質(zhì)等等,它們的成分會(huì)影響缺陷樣品的分析結(jié)果。
  3.取樣標(biāo)記影響
  大多數(shù)取料的時(shí)候,為標(biāo)識(shí)清楚會(huì)用白色或黑色油性記號(hào)筆做標(biāo)記,標(biāo)記如標(biāo)識(shí)到缺陷面上,超聲波清洗很難*清洗干凈,如對(duì)記號(hào)筆的成分不了解,也許會(huì)讓分析人員做出錯(cuò)誤的判斷。這要求取樣者在取樣的時(shí)候注意保持樣品原狀,不破環(huán)樣品的觀察面,方便進(jìn)行分析,現(xiàn)場(chǎng)用白色記號(hào)筆的成分以氧化硅還有氧化鎂為主,黑色油性記號(hào)筆的成分主要以碳為主,而且含有少量的鋅元素。當(dāng)分析發(fā)現(xiàn)有此類元素的時(shí)候,要尤其予以注意還有區(qū)分。
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